フジミインコーポレーテッドは15日、07年2月の稼働を目指し、シリコンウエハー用鏡面仕上げ材などを生産する新工場棟を岐阜県各務原市に建設すると発表した。新工場棟の稼働により生産能力を現在の月間1500トンから同2500トンに引き上げる。投資額は32億円。
新工場棟は既存の各務東町工場(岐阜県各務原市)の敷地内に建設する。建物面積は2040平方メートル。ウエハーの鏡面仕上げ材、半導体の多層配線工程で使う化学的機械研磨(CMP)スラリー、ウエハーの縁を処理する鏡面仕上げ材を生産する。
シリコンウエハーの大口径化に伴い、ウエハー1枚当たりの仕上げ材の使用量は増えている。このため今後も需要拡大が見込めるとして、新工場棟の建設を決めた。