三菱電機、高速微細加工を実現した放電加工機用モジュールを開発
三菱電機は１５日、直径１００マイクロメートル以下の微細な穴を現行機の２倍の速さで加工できる放電加工機用モジュールを開発したと発表した。ワークに放電する電極を磁力で動かす磁気支持型アクチュエーター（駆動部）を採用し、高速・微細加工を実現した。厳しい排ガス規制が求められているディーゼルエンジン用噴射ノズルなど、精密機器の生産性を高める。０６年度中の製品化を目指す。
モジュール内の磁気支持型駆動部により、電極の微細な動きと粗い動きを協調させて加工速度を高めた。放電間隙（かんげき）は０・２マイクロメートルの精度で細かく制御できる。開発したモジュールによる試験では、厚さ０・８ミリメートルの鋼材に直径８０マイクロメートルの穴を１５秒で加工できた。
駆動部は直径１０・５センチ、長さ２０センチメートルと小型で電源やコントローラーと一体化して生産ラインに組み込みやすい。