大林組、半導体工場向け熱源システム開発-42%の省エネ実現

大林組は環境計画研究所(東京都新宿区)と共同で、半導体工場や液晶工場向けの省エネ熱源システム「高温冷水システム」を開発した。クリーンルームの室内環境を制御する冷水温度を、従来の6度Cから12度Cに高温設定。必要な冷水温度に合わせて装置も再配置することで、年間消費エネルギーを従来より42%効率化できる。

 300ミリメートルウエハーを月間3万枚生産する半導体工場を想定した試算では、熱源運転コストを年間9億円から6億円に削減。二酸化炭素排出量を年間3万7000トンから同2万1000トンに削減できる。

 熱源の初期投資費用はこれまでの15億円から17億円に2億円増えるが、1年以内に増加分を回収可能という。IT工場の省エネシステムとして提案する。

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