古河機械金属は06年度中に次世代DVD向け青色レーザーダイオード(LD)や高輝度発光ダイオード(LED)、高周波・高出力電子デバイスに使われる窒化ガリウム(GaN)自立基板の量産を始める。月産能力は2インチ品で100枚程度。製造装置は自社開発した。引き続き歩留まりと品質の向上、コスト削減を進めて量産体制を構築。市場拡大時に安定供給と先行者利益の獲得を狙う。
同社はサファイア基板の上に表面処理し、GaNを結晶成長させるハイドライド気相エピタキシャル成長法(HVPE)の装置を内製化。グループ会社の古河産機システムズの小山工場(栃木県小山市)で量産する。
これまでサファイア基板付きGaN基板、テンプレート(半製品)、成長させたGaN層とサファイア基板を分離・剥(はく)離するGaN自立基板をサンプル出荷してきた。