ニコンは21日、オキサイド(山梨県北杜市、古川保典社長)と光学単結晶分野で業務提携すると発表した。オキサイドがニコンに光学単結晶を供給するほか、製品開発で技術協力する。当面は試験用の露光装置の光源など固体レーザー関連製品の強化に役立てていく方針だ。
オキサイドは物質・研究機構による研究成果の実用化のため設立されたベンチャー企業。定比組成タンタル酸リチウム単結晶や定比組成ニオブ酸リチウム単結晶など新しい光学単結晶を製品化している。ニコンはオキサイドの開発、製造する光学単結晶を自社製品に応用する。当面は固体レーザーの光源として利用。波長193ナノメートル(ナノは10億分の1)のレーザーを実用化し、試験用の半導体露光装置やたんぱく質の加工装置などに利用する。