オムロン、ＭＥＭＳ技術用いた世界最小マイクロホンチップを開発
オムロンは微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）技術を用いた世界最小のマイクロホンチップを開発した。チップサイズは１・２ミリ×１・３ミリメートルで、現在実用化されている製品に比べて面積を約半分に極小化した。携帯電話のほかデジタルカメラやゲーム機といった用途に展開する。０６年度中にサンプル出荷し、０７年度の実用化を目指す。
ＭＥＭＳチップはシリコン基板上に、音圧によって振動するダイヤフラム（振動膜）、その上部に固定膜という３層で構成する。小さな穴が開いた固定膜と、音圧によって動く振動膜との間の静電容量を検知し、電気信号に変換する。チップの性能は携帯電話に搭載されるエレクトレット・コンデンサー・マイクロホン（ＥＣＭ）と同等レベルを確認済みという。