三菱電機はオゾン発生器の低コスト化と小型化を実現する新技術を開発した。水処理などに使われる放電プラズマ式のオゾン発生器には短絡保護のため、高電圧用の特殊ヒューズが使われる。これに対し、ガラス管内部に数マイクロメートルレベルの薄膜の高圧電極を塗布し、電極自体にヒューズ機能を持たせることに成功した。同技術によって発生器が大幅に小型化できるという。
オゾン発生器には一般的に直径８０ミリ―１００ミリメートル、長さ１・５メートル程度のガラス管が５００―６００本入っている。破損電極を回路上から切断するため、ガラス管１本につき１個のヒューズが必要。ガラス管内部に形成する高圧電極部分の厚みはこれまで数百マイクロメートルだったが、同社は数マイクロメートルレベルと薄膜にすることで「電極自体がヒューズの役割を果たすことが判明した」（先端技術総合研究所環境システム技術部）という。