アルバック、ガス放出量を低減したアルミ合金向け耐食処理法を開発
アルバックは２２日、三愛プラント工業（東京都大田区）と共同でガス放出量を低減したアルミニウム合金向け耐食処理法「スーパーアルピカ」を開発したと発表した。アルバックの真空装置を導入した企業などを対象に９月１日から販売し、初年度３０００万円の売り上げを見込んでいる。
同処理法は酸化被膜の下地処理を適正化することで、アルミ合金の欠陥が少なく、均一、緻密（ちみつ）な酸化膜の成長を可能にした。膜厚は２００ナノ（ナノは１０億分の１）―４００ナノメートル。被膜構造が緻密なため、ガス放出量を従来のポーラス型アノード酸化処理に比べて１００分の１から１０００分の１に低減できる。また、熱サイクルによるひび割れが生じず、高温でも耐食性が低下しない。
用途は耐食処理やガス放出の低減が必要な化学気相成長（ＣＶＤ）装置、エッチング装置、アッシング装置、酸化処理装置の電極板など。