出光興産は２８日、半導体製造におけるアルゴンフッ素（ＡｒＦ）エキシマレーザー露光プロセス用のフォトレジスト原料であるアダマンタン誘導体の製造装置を徳山工場（山口県周南市）内に建設すると発表した。ＡｒＦプロセスの普及によるフォトレジスト原料需要の増加に対応する。投資額は１３億円。年産能力は３００トンで、０７年１月に着工し、０８年１月に稼働する計画。
同社によるとアダマンタンは生産時に処理が困難な廃触媒を発生させる塩化アルミ法で中国の中小メーカーが生産している。
出光興産が建設するアダマンタンの製造装置は、独自に開発したゼオライト触媒を用い、環境負荷が低いのが特徴。
原料には芳香族炭化水素化合物（ＢＴＸ）生産プラントで副生する未利用の留分を使用し、従来のバッチ生産から連続生産にして省力化を図る。