キヤノンプレシジョン、精度２倍の位置決めステージシステムを発表
キヤノンプレシジョン（青森県弘前市、吉川實社長）は６日、繰り返し位置決め精度を従来機比２倍の５ナノメートル（ナノは１０億分の１）に高めた位置決めステージシステムの受注生産を始めたと発表した。同システムは駆動源に超音波モータを採用し、応答性が高く高精度でステージを起動・停止できる。高精細化や微細化が進む次世代半導体や光ディスクなどの研究開発向けに、初年度５０台の販売を見込む。
同システムは移動ステージと制御器、周波数を整数倍に増幅する逓倍器などで構成。ステージのテーブル寸法は１２０ミリ×１２０ミリメートルで、移動量は５０ミリメートル。最大移動速度は毎秒５ミリメートル。テーブル寸法や移動量をユーザーの仕様に合わせてシステムを生産するケースが多いため、標準価格は設けていない。