日立ハイテク、独社と共同で走査透過電子顕微鏡を開発

日立ハイテクノロジーズはドイツのセオスと共同で、新型走査透過電子顕微鏡(STEM)「HD―2700形」を開発、発売した。電子顕微鏡の性能上の制約となっていた球面収差を補正する機能を搭載、従来機種と比べて約1・5倍の高分解能観察を可能にした。本体の標準価格は2億8000万円。初年度5台の受注を見込む。

 新機能により分解能(DF―STEM像)1・144ナノメートル(ナノは10億分の1)を実現した。倍率は100―1000万倍。物質表面や内部の観察だけでなく特性X線やエネルギーフィルターによる各元素分析も行える。同機能でも従来機種比で約10倍のプローブ電流が得られる高感度分析が可能で、微弱シグナル元素の検出にも有効。

 電子顕微鏡は倍率5―200万倍の走査型、100―1000万倍の走査透過型、200―1500万倍の透過型に大別できる。

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