荏原ユージライト、韓国社と資本提携-乾式表面処理事業に本格参入

荏原ユージライトは乾式(ドライ)の表面処理事業に本格参入する。韓国企業と資本・業務提携し、年内にもプラズマを使ったプリント基板のデスミア装置を発売するのを皮切りに、後工程を含む自動化システムを開発して事業拡大を図る。一方、塗装に代替できるスパッタリング技術も開発し、装置の販売などを始める。また、川崎市に移転・建設中の中央研究所にドライの研究所を新設し、微細化の進展や環境配慮から需要拡大が確実視されるドライ分野の先端市場の開拓を加速する。

 荏原ユージライトは韓国の第四紀韓国の発行済み株式の6%近くを1億円で取得。第四紀が得意とするプラズマを使ってプリント配線基板の微細穴の内部を平滑にするデスミア処理装置関連で提携した。この技術をベースとして自社ブランドで年内にも同装置を発売する。

 国内で主流の薬液処理に対し、同装置は廃液処理などの環境対策が容易で、より微細な加工に有利な点が売り物。

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