ナガセインテグレックスなど、大物部品用の超精密測定システム開発
ナガセインテグレックス（岐阜県関市、長瀬幸泰社長）は、東北大学の清野慧教授や大阪電気通信大学の島田尚一教授、宇田豊教授と共同で、大物部品用の超精密測定システムを開発した。長さ約１０メートルまでの真直度を０・１マイクロメートル（マイクロは１００万分の１）の精度で測定できる。０７年春をめどに自社製の工作機械に搭載するほか、システム自体の販売を目指す。
清野教授が考案した独自の測定法「３点法」と「反転法」を組み合わせた。システムには一直線上に等間隔に並ぶ３本の光センサーを用いる。計測対象に沿ってこの光センサーを移動させて計測。さらに逆方向からも再度計測し、３センサーの各計測値を平均し、計測精度を高める。
実証試験では、長さが９００ミリメートル、断面が４０ミリ×５０ミリメートルの超精密に研削仕上げをした鋼材を５３０ミリメートルの間隔で２点支持し、その真直度を測定。